[发明专利]基板裂纹检测的方法及系统、存储介质在审
| 申请号: | 202010058092.4 | 申请日: | 2020-01-19 |
| 公开(公告)号: | CN111289610A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
| 发明(设计)人: | 李金财 | 申请(专利权)人: | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G01N29/04 | 分类号: | G01N29/04;G01N29/11 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 杨艇要 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 裂纹 检测 方法 系统 存储 介质 | ||
1.一种基板裂纹检测的方法,其特征在于,包括:
数据库建立步骤,获取一基板的每一行栅极线的音频信息,并得到每一行的周期波形;
采集步骤,采集所述周期波形;
比对步骤,将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对得到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定所述基板出现裂纹。
2.如权利要求1所述的基板裂纹检测的方法,其特征在于,还包括:
拦截步骤,拦截出现裂纹的基板。
3.如权利要求1所述的基板裂纹检测的方法,其特征在于,
所述数据库建立步骤之前,包括:
发送步骤,发送一交流电信号至所述基板的每一行栅极线,所述音频信息为该交流电信号的反馈信号。
4.如权利要求2所述的基板裂纹检测的方法,其特征在于,
所述拦截步骤包括:
报警步骤,发送报警信号;
停止步骤,停止所述基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
5.一种基板裂纹检测的系统,其特征在于,包括数据库以及控制系统;
所述数据库中存储每一基板的每一行栅极线的音频信息以及周期波形;
所述控制系统包括:
采集单元,用以采集所述周期波形;
比对单元,用以将每一行的周期波形与标准周期波形进行振幅比对得到一振幅差值,若所述振幅差值超过一预设值,则判定所述基板出现裂纹。
6.如权利要求5所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,所述控制系统还包括:
拦截单元,拦截出现裂纹的基板。
7.如权利要求5所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,
所述控制系统还包括:
发送单元,发送一交流电信号至所述基板每一行栅极线,所述音频信息为该交流点信号的反馈信号。
8.如权利要求6所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,
所述拦截单元具体包括:
报警单元,发送报警信号;
停止单元,停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板。
9.如权利要求5所述的基板裂纹检测的系统,其特征在于,
所述采集单元以及所述比对单元集成于一处理器上。
10.一种存储介质,该存储介质上存储有计算机程序,在控制系统执行
所述计算机程序时可实现如权利要求1~4中任一项所述的方法。
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