[发明专利]介电常数的测试方法及其测试装置、相关设备在审
| 申请号： | 202010029313.5 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111289803A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 马红霞;王秉国 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了介电常数的测试方法及其测试装置、相关设备。其中，测试方法包括提供待测量工件，包括基体与待测量部，待测量部设于基体的一侧，待测量部包括第一待测量层与第二待测量层。获取第一待测量层的第一光学厚度与第一等效氧化层厚度。获取待测量部的第二光学厚度与第二等效氧化层厚度。获取第一待测量层的第一介电常数。根据第一光学厚度、第一等效氧化层厚度、第二光学厚度、第二等效氧化层厚度、以及第一介电常数建立第二待测量层的介电常数模型并计算第二待测量层的第二介电常数。通过增设第一待测量层可避免不可控制的因素干扰，并通过第一待测量层第二待测量层与第二待测量层的配合来准确地计算出第二待测量层的第二介电常数。 | ||
| 搜索关键词： | 介电常数 测试 方法 及其 装置 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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