[发明专利]基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法有效
申请号: | 202010024256.1 | 申请日: | 2020-01-10 |
公开(公告)号: | CN111185590B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 余鑫祥;赵志国;史丹丹;史先利;董晓燕;戴菡 | 申请(专利权)人: | 烟台南山学院 |
主分类号: | B22F1/14 | 分类号: | B22F1/14;B22F1/054;G02B6/13;B82Y20/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 烟台智宇知识产权事务所(特殊普通合伙) 37230 | 代理人: | 李增发 |
地址: | 265713 山东省烟*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明属于新型光波导制备技术领域,具体为基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法包括a.清洗硅片、b.配制一维银纳米线悬浊液、c.铺展、d.干燥步骤与现有技术不同的是,还包括:e.低温等离子体轰击:采用国产CVD管式炉,同时搭载250W射频电源,射频频率13.56 MHZ,将样品置于管式炉内,Ar气氛压强0.2Pa条件下启辉,射频功率60W~150W,处理时间3~5min,轰击过程中保证一维银纳米线的“准液态”温度低于其熔,得到高度有序银纳米链。本发明专利用简单的射频低温等离子体放电的手段,无特殊条件要求、操作容易、设备要求简单,因此特别适合商业化大规模生产。 | ||
搜索关键词: | 基于 低温 等离子体 制备 高度 有序 纳米 链结 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于烟台南山学院,未经烟台南山学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010024256.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。