[发明专利]基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法有效

专利信息
申请号: 202010024256.1 申请日: 2020-01-10
公开(公告)号: CN111185590B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 余鑫祥;赵志国;史丹丹;史先利;董晓燕;戴菡 申请(专利权)人: 烟台南山学院
主分类号: B22F1/14 分类号: B22F1/14;B22F1/054;G02B6/13;B82Y20/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 烟台智宇知识产权事务所(特殊普通合伙) 37230 代理人: 李增发
地址: 265713 山东省烟*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本发明属于新型光波导制备技术领域,具体为基于低温等离子体制备高度有序银纳米链结构的方法包括a.清洗硅片、b.配制一维银纳米线悬浊液、c.铺展、d.干燥步骤与现有技术不同的是,还包括:e.低温等离子体轰击:采用国产CVD管式炉,同时搭载250W射频电源,射频频率13.56 MHZ,将样品置于管式炉内,Ar气氛压强0.2Pa条件下启辉,射频功率60W~150W,处理时间3~5min,轰击过程中保证一维银纳米线的“准液态”温度低于其熔,得到高度有序银纳米链。本发明专利用简单的射频低温等离子体放电的手段,无特殊条件要求、操作容易、设备要求简单,因此特别适合商业化大规模生产。
搜索关键词: 基于 低温 等离子体 制备 高度 有序 纳米 链结 方法
【主权项】:
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