[发明专利]显影设备及显影方法在审
| 申请号： | 202010021588.4 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111208714A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 罗进成 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种显影设备及显影方法。该显影设备包括：机台，设置有用于承载待显影基材的显影区；支架，固定于机台上且位于显影区的侧方；导轨，固定于支架上，且该导轨的延伸方向与待显影基材在显影区内的传输方向相同；液刀，用于喷涂显影液，所述液刀设置于导轨上并位于显影区上方，且允许沿导轨的延伸方向移动。基于此，本发明设计液刀可沿导轨移动，其姿态和位置可被改变，有利于清除液刀背面及液刀底部沾粘的光刻胶，确保清洁效果及后续显影品质。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010021588.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制冷系统、制冷设备以及制冷系统的控制方法
- 下一篇：一种气动蠕动泵
