[发明专利]一种高灵敏度纳米线加速度传感器有效
| 申请号： | 202010020712.5 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111157762B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;蔡伟成;李志瑞;赵剑;刘蓬勃;王岩;赵丹娜 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高灵敏度纳米线加速度传感器，桥接纳米线构成U型环路，其中一端的电极区域为悬空状态；桥接纳米线构成交叉结构，并在桥接纳米线中部附着质量块。本发明的传感器具有微型化、可集成、高灵敏度的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 纳米 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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