[发明专利]基于亚波长光栅的异质集成垂直耦合器及其应用在审
| 申请号： | 202010010935.3 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN113075765A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 赵佳;赵然;孙崇磊;徐晓 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/124;G02B6/12 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 赵龙群 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于亚波长光栅的异质集成垂直耦合器及其应用，垂直耦合器包括绝热拉锥波导，绝热拉锥波导上设置有亚波长光栅；绝热拉锥波导的宽度从始端到末端均匀减少，绝热拉锥波导的两个侧边对称设置有亚波长光栅，亚波长光栅中光栅的长度由绝热拉锥波导的始端到末端均匀增大；绝热拉锥波导的长度为12.4‑58.9μm。本发明结合了亚波长光栅的特性，优化了绝热拉锥波导的耦合效果，使得耦合器的尺寸大大减少，并依然能保持97％以上的耦合率和100nm的带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波长 光栅 集成 垂直 耦合器 及其 应用 | ||
【主权项】：
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