[发明专利]场效应晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202010008253.9 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111162118A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 王超;付博;方华斌;李向光 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/10 | 分类号： | H01L29/10;H01L29/24;H01L29/06;H01L23/15;H01L29/78;H01L21/34;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种场效应晶体管及其制备方法，包括衬底、栅极、和介电层、有源层、漏极和源极；所述栅极镀在所述衬底表面，所述介电层涂在所述栅极上表面，所述有源层形成于所述介电层表面，所述源极和所述漏极分别位于所述有源层的两侧；所述衬底的材质是玻璃，所述有源层的材质是金属氧化物纳米纤维。所述场效应晶体管通过使用玻璃材质的衬底提高了场效应晶体管的透明度，并通过金属氧化物纳米纤维的有源层缩小了场效应晶体管的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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