[发明专利]一种基于微加工工艺的无源柔性温度传感器的制作方法在审
| 申请号： | 202010002524.X | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111157132A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 王学文;李玥;许曼章;郑璐;黄维 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00 |
| 代理公司： | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 | 代理人： | 蒋何栋 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微加工工艺的无源柔性温度传感器的制作方法，包括以下步骤：设置柔性线圈和微型电极，温度敏感材料对准转移，IC芯片对准粘接，封装。本发明中的方法成本低，在常温常压下就可进行，对环境要求低，工业上可以建立这一流水线作业模式来加工高精度无源柔性温度传感器，可大幅提高加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 加工 工艺 无源 柔性 温度传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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