[发明专利]系统、基板处理装置及程序在审
| 申请号： | 201980097553.4 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113994316A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 森真一朗 | 申请（专利权）人： | 株式会社国际电气 |
| 主分类号： | G06F8/65 | 分类号： | G06F8/65 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 能够不对系统文件的数据带来影响地执行搭载于半导体制造装置的软件的版本更新。提供一种技术，为一种系统，具备主控制器和分别控制多个模块的多个副控制器，主控制器具有存储部，该存储部具备保存当前对多个模块设定的系统文件的第1保存部、和将系统文件相对于多个模块的上传或下载的历史保存为历史信息的第2保存部，该系统中，主控制器在与多个副控制器之间收发了系统文件时，根据收发的系统文件与第1保存部中保存的系统文件的比较结果，将收发的系统文件保存到第1保存部，并且将系统文件的历史信息保存到第2保存部。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 处理 装置 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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