[发明专利]系统、基板处理装置及程序

权利要求书

1.一种系统，具有：

多个副控制器，其分别控制多个模块；以及

主控制器，其具有存储部，该存储部具备保存当前对所述多个模块设定的系统文件的第1保存部、和将系统文件相对于所述多个模块的上传或下载的历史保存为历史信息的第2保存部，

所述系统的特征在于，

所述主控制器在与所述多个副控制器之间收发了系统文件时，根据所收发的系统文件与所述第1保存部中保存的系统文件的比较结果，将所收发的系统文件保存到所述第1保存部，并且将所述系统文件的历史信息保存到所述第2保存部。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为在所述第2保存部中保存可知在所述多个模块中使用的系统文件的变更历史的历史信息。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为将以所述多个模块为对象上传或下载了的系统文件保存到所述第2保存部，与此同时保存到所述第1保存部。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为，在上传以所述多个模块为对象的系统文件、且上传了的系统文件与所述第1保存部中保存的系统文件不同时，或者，在向所述多个模块下载系统文件、且下载了的系统文件与所述第1保存部中保存的系统文件不同时，将上传或下载了的系统文件保存到所述第1保存部，并且将所述系统文件的历史信息保存到所述第2保存部。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为，在与所述多个模块连接时，发出以与所连接的模块为对象的所述系统文件的上传要求。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为，将以所述多个模块为对象上传或下载了的系统文件保存到所述第2保存部的、以对所述系统文件进行上传或下载的日期为文件夹名的文件夹中。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为，对所述文件夹名附加将向所述第2保存部保存的编号依次加1得到的序列编号和对所述系统文件进行上传或下载的时刻。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述主控制器在新连接了模块的情况下，以新连接的模块为对象的系统文件被上传，对所述第1保存部中保存的系统文件与以新连接的模块为对象的系统文件进行比较，在没有不同的情况什么都不做。

9.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为，基于所指定的日期对所述第2保存部进行检索，在所述文件夹中仅保留一个与比所指定的日期靠前的模块相关的最新的系统文件。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为，删掉与比所指定的日期靠前的模块相关的最新的系统文件的过去的所述模块所相关的系统文件。

11.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，

所述主控制器构成为删掉内容为空的所述文件夹。

12.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

构成为在所述第1保存部中保存与以所述多个模块为对象下载了的系统文件相同的系统文件。

13.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

在所述第2保存部中，以时间序列保存相对于所述多个模块上传或下载了的系统文件的信息。

14.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

在所述第2保存部中，保存将以所述多个模块为对象进行上传或下载的日期时间设为文件夹名的文件夹，在所述文件夹中，保存上传或下载了的系统文件、和与进行了上传或下载的对象模块相关的信息。