[发明专利]阴极电弧引弧装置在审
| 申请号： | 201980092490.3 | 申请日： | 2019-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113454751A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 西格弗里德·克拉斯尼策;于尔格·哈格曼;安德烈亚斯·彼得·特雷霍尔茨;多米尼克·埃尔温·威德默 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/32 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 刘聪 |
| 地址： | 瑞士苏黎世*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于将靶材阴极电弧沉积到基材上的引弧装置，该引弧装置包括触发指，其活动布置在接触位置与静止位置之间，其中在该接触位置中该触发指能物理接触相邻靶的侧表面，而在该静止位置中相邻靶不能被该触发指接触，其中在靶材的阴极电弧沉积期间，该触发指如此活动布置为在所述接触位置与静止位置之间，即，能将该触发指在靶材阴极电弧沉积期间被沉积的靶材污染减至最小。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 电弧 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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