[发明专利]使用光散射偏振测定来表征玻璃基样品的光学阻滞在审
| 申请号: | 201980081488.6 | 申请日: | 2019-10-24 |
| 公开(公告)号: | CN113167720A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
| 发明(设计)人: | W·J·弗纳斯 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/21 | 分类号: | G01N21/21;G01N21/49;G01L1/24;G01N21/23 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 表征玻璃基样品的光学阻滞或应力相关性质的方法包括:将光束(112)引导到玻璃基样品(10)中,同时改变光束的偏振以生成针对每个偏振的散射光(112S)。用图像传感器(114)捕获针对每个偏振的散射光,图像传感器(114)具有曝光时间和帧率。散射光具有在图像传感器处的强度分布。样品被移动,使得图像传感器对每帧的两个或更多个不同强度分布求平均,以形成针对每个偏振的平均强度分布。随后将多个帧的平均强度分布用于表征光学阻滞。光学阻滞可用于确定玻璃基样品的应力相关性质。移动基板减小了由于没有光学阻滞信息的散射光而引起的测量噪声。 | ||
| 搜索关键词: | 使用 散射 偏振 测定 表征 玻璃 样品 光学 阻滞 | ||
【主权项】:
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