[发明专利]晶体生长设备在审
| 申请号： | 201980076758.4 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN113166969A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | R·艾伯纳;G·巴巴里;熊治勇;B·格鲁恩 | 申请（专利权）人： | 艾伯纳工业炉公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B25/08;C30B25/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张进 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于生长晶体的设备(100)。该设备包括腔室(101)和布置在腔室(101)的可加热的容纳空间(103)中的坩埚(102)，其中，坩埚(102)包括构造成用于在内部生长晶体的内部容积(104)。坩埚(102)包括底部(105)，相应的侧壁(106)从该底部延伸到坩埚(102)的顶部部段(107)。坩埚(102)包括至少一个沉积部段(D1至D7)，该沉积部段(D1至D7)构造成用于附着籽晶(108)，其中该沉积部段(D1至D7)形成在坩埚(102)的侧壁(106)与顶部部段(107)中的至少一者上。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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