[发明专利]校准多个计量设备的方法、确定感兴趣参数的方法以及计量设备在审
| 申请号： | 201980075962.4 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN113039488A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | S·I·莫萨瓦特;B·O·法格金杰·奥尔;R·德克斯;A·奥诺塞;H·A·J·克莱默 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于校准计量设备和确定感兴趣参数的方法。在一种布置中，提供了训练数据，其包括由多个计量设备中的每一个检测的散射辐射的检测表示。编码器对每个检测表示进行编码以提供编码表示，并且解码器从相应的编码表示生成合成检测表示。分类器估计每个编码表示或每个合成检测表示源自哪个计量设备。训练数据用于同时以相对彼此的对抗关系执行涉及编码器或解码器的第一机器学习过程和涉及分类器的第二机器学习过程。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 计量 设备 方法 确定 感兴趣 参数 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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