[发明专利]激光加工装置及激光加工方法有效
| 申请号： | 201980071652.5 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN113039038B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 坂本刚志;是松克洋 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光加工装置具备：支承部、照射部、移动机构、控制部及摄像部。控制部实行第1前处理，该第1前处理是沿着具有并排配置的多条并行线的加工用线将激光照射于对象物，而在对象物形成改质区域。摄像部取得第1图像，该第1图像呈现通过第1前处理而沿着具有多条并行线的加工用线形成了改质区域的情况的加工状态。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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