[发明专利]扫描型探针显微镜和扫描型探针显微镜的光轴调整方法在审
| 申请号： | 201980070728.2 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112955753A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q20/02 | 分类号： | G01Q20/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 扫描型探针显微镜包括：悬臂(2)，其在顶端部具有探针(7)；光学系统(80)，其向悬臂照射激光并且检测被悬臂反射的激光；拍摄部(10)，其用于在进行激光的光轴调整时对包含悬臂(2)的顶端的位置在内的范围进行拍摄；图像处理部(72)，其根据由拍摄部(10)生成的图像来检测探针的顶端的位置和激光的光斑的位置；光轴调整部(73)，其基于检测到的位置来调整激光的光轴；以及试样保持部(44)，其用于保持试样。试样保持部(44)包含镜(33)。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 光轴 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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