[发明专利]扫描型探针显微镜和扫描型探针显微镜的光轴调整方法

权利要求书

1.一种扫描型探针显微镜，其中，

该扫描型探针显微镜包括：

悬臂，其在顶端部具有探针；

光学系统，其在进行测量时向所述悬臂照射激光并且检测被所述悬臂反射的激光；

拍摄部，其用于在进行所述激光的光轴调整时对包含所述悬臂的顶端的位置在内的范围进行拍摄；

图像处理部，其根据由所述拍摄部生成的图像来检测所述探针的顶端的位置和所述激光的光斑的位置；

光轴调整部，其基于所述检测到的位置来调整所述激光的光轴；以及

试样保持部，其用于保持试样，

所述试样保持部包含镜。

2.根据权利要求1所述的扫描型探针显微镜，其中，

所述试样保持部包含试样台，该试样台能够载置于所述镜的上侧。

3.根据权利要求2所述的扫描型探针显微镜，其中，

在所述镜与所述试样台之间形成有间隙。

4.根据权利要求2所述的扫描型探针显微镜，其中，

所述试样台为金属制，

所述试样保持部还具有磁体，该磁体配置于所述镜之下。

5.根据权利要求2所述的扫描型探针显微镜，其中，

该扫描型探针显微镜包括扫描器，

所述试样保持部由所述试样台和能够安装于所述扫描器的配件构成，

在所述配件的上表面形成有所述镜，在所述配件的内部埋设有磁体。

6.根据权利要求5所述的扫描型探针显微镜，其中，

在所述扫描器形成有圆柱形状的嵌入孔，

所述配件具有圆板形状的上表面和圆柱形状的突出部，

所述突出部构成为能够嵌插于所述嵌入孔。

7.一种扫描型探针显微镜的光轴调整方法，其中，

所述扫描型探针显微镜包括：

悬臂，其在顶端部具有探针；

光学系统，其在进行测量时向所述悬臂照射激光并且检测被所述悬臂反射的所述激光；

扫描器，其用于使试样移动；以及

试样保持部，其用于保持试样，

所述试样保持部包含：

配件，其能够安装于所述扫描器，该配件在上表面形成有镜并且在内部埋设有磁体；以及

试样台，其为金属制并且能够载置于所述镜之上，

该扫描型探针显微镜的光轴调整方法包含以下步骤：

设为在所述镜之上未载置所述试样台的状态的步骤；

所述光学系统照射所述激光的步骤；

对包含所述悬臂的顶端的位置在内的范围进行拍摄的步骤；

根据通过所述拍摄生成的图像来检测所述探针的顶端的位置和所述激光的光斑的位置的步骤；以及

基于所述检测到的位置来调整所述激光的光轴的步骤。