[发明专利]用于深度可选X射线分析的系统和方法在审
| 申请号： | 201980065798.9 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112823280A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 云文兵;雅诺什·柯尔茨 | 申请（专利权）人： | 斯格瑞公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 朱亦林 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于X射线分析的系统包括至少一个X射线源，该至少一个X射线源被配置为发射X射线。该至少一个X射线源包括至少一个碳化硅子源，该至少一个碳化硅子源位于至少一个导热衬底上或嵌入在其中，并且被配置为响应于对该至少一个碳化硅子源的电子轰击而产生X射线。从至少一个X射线源发射的X射线中的至少一部分包括Si X射线发射线X射线。该系统还包括至少一个X射线光具组，该至少一个X射线光具组被配置为接收Si X射线发射线X射线并利用Si X射线发射线X射线中的至少一部分来照射样品。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 深度 可选 射线 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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