[发明专利]具有集成电路和传感器的装置及形成其的方法有效
| 申请号: | 201980060729.9 | 申请日: | 2019-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN113167662B | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
| 发明(设计)人: | M·W·戴维斯;J·G·里巴尔;C·T·奥尔森 | 申请(专利权)人: | 哈钦森技术股份有限公司 |
| 主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;B25J13/08;G01K7/02;G01L5/22 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 王永建 |
| 地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 描述了一种装置。该装置包括基板;形成在基板上的一个或多个传感器部件;以及形成在基板上的一个或多个电路,所述一个或多个电路与形成在基板上的一个或多个传感器部件中的至少一个电耦合。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 集成电路 传感器 装置 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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