[发明专利]用于平滑构件的表面区域的方法在审
| 申请号： | 201980059829.X | 申请日： | 2019-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN113840731A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | B·格拉费尔;F·温克勒;S·弗里切;B·基巴克;B·克勒登;T·韦斯加伯尔 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | B33Y10/00 | 分类号： | B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y40/00;H01J37/30;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使构件(11、21)的表面区域变得平滑的方法，该构件至少在表面区域内由导电材料构成，其中在真空室内借助至少一个具有第一表面能、聚焦的电子束(13、23)扫过构件(11、21)的表面区域，该第一表面能致使表面区域内的构件材料熔化，其中a)在熔化之前借助电子束(13、23)分别以电子束(13、23)的不同焦距(27a、27b、27c)至少两次扫过表面区域，其中，b)设定电子束(13、23)的第二表面能，该第二表面能不会致使表面区域中的构件材料熔化，其中c)借助多个布置在真空室内的传感器(14、24)采集表征由入射到传感器(14、24)上的背散射电子引起的电流的数据，其中d)在分析装置(15、25)内根据传感器(14、24)所采集的数据推导出所表面区域内的粗糙度的实际值，将该粗糙度的实际值与粗糙度的目标值进行比较，如果粗糙度的实际值未达到粗糙度的目标值，则根据比较结果确定第一表面能的值，然后e)借助电子束(13、23)以第一表面能扫过表面区域，而后继续执行方法步骤a)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平滑 构件 表面 区域 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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