[发明专利]用于平滑构件的表面区域的方法

权利要求书

1.一种用于平滑构件(11、21)的表面区域的方法，该构件至少在所述表面区域内由导电材料构成，其中在真空室内借助至少一个具有第一表面能的、聚焦的电子束(13、23)扫过所述构件(11、21)的所述表面区域，所述第一表面能致使所述表面区域内的构件材料熔化，其特征在于，

a)在熔化之前借助所述电子束(13、23)分别以所述电子束(13、23)的不同焦距(27a、27b、27c)至少两次扫过所述表面区域，其中

b)设定用于所述电子束(13、23)的第二表面能，所述第二表面能不会致使所述表面区域中的构件材料熔化，其中

c)借助多个布置在所述真空室内的传感器(14、24)采集表征由入射到所述传感器(14、24)上的背散射电子引起的电流的数据，其中

d)在分析装置(15、25)内根据所述传感器(14、24)所采集的数据推导出所表面区域内的粗糙度的实际值，将所述粗糙度的实际值与所述粗糙度的目标值进行比较，如果所述粗糙度的实际值未达到所述粗糙度的目标值，则根据比较结果确定所述第一表面能的值，然后

e)借助具有所述第一表面能的电子束(13；23)扫过所述表面区域，而后继续执行方法步骤a)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，以小于90°的角度相对所述构件的表面区域对所述电子束进行定向。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，以处于45°至90°的范围内的角度相对所述构件的表面区域对所述电子束进行定向。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，借助保持装置将所述构件(21)布置在所述真空室内，所述保持装置可以三维地改变所述构件在所述真空室内的位置。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述构件在借助所述保持装置布置在所述真空室内之后

f)借助所述电子束(23)扫过；

g)在所述分析装置(25)内借助在此由所述传感器(24)所采集的数据推导出关于所述构件(21)在所述真空室内的三维实际定向的表达并将其与所述构件(21)的目标定向进行比较；

h)根据所述比较结果形成一个信号，所述保持装置借助所述信号将所述构件(21)在所述真空室内引导至目标定向。