[发明专利]含氟气的气体的供给方法和供给设备有效
| 申请号： | 201980056969.1 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112639352B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 西尾勇弥 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F16K7/16;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 王潇悦;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种含氟气的气体的供给方法，其不会使含氟气的气体的供给设备的装置结构变复杂，并且不会降低含氟气的气体的氟气浓度。实行封闭工序，以压力低于填充容器(2)内的气压的方式向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第2含氟气的气体，该第2含氟气的气体的氟气浓度相对于第1含氟气的气体的氟气体浓度在±10％的范围内。封闭工序之后，将缓冲罐(9)设为打开状态，从填充容器(2)向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第1含氟气的气体，然后将压力调整器(7)设为打开状态，在通过压力调整器(7)调整压力的同时向消费设备(20)供给第1含氟气的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 氟气 气体 供给 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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