[发明专利]利用机器学习从原始图像自动选择高品质平均扫描电镜图像在审
| 申请号： | 201980053456.5 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN112602020A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张琛;张强;王祯祥;梁蛟 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T7/00;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于评估印制图案的图像的方法由至少一个可编程处理器实施。所述方法包括获得(2310,2320)所述印制图案的第一平均图像，其中所述第一平均图像是通过对所述印制图案的原始图像进行平均化而生成的。所述方法也包括识别(2330)第一平均图像的一个或更多个特征。所述方法还包括由所述可编程处理器执行图像品质分级模型并且至少基于所述一个或更多个特征来评估(2340)所述第一平均图像。所述评估包括由所述图像品质分级模型来确定(2350)所述第一平均图像是否满足指标。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 机器 学习 原始 图像 自动 选择 品质 平均 扫描电镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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