[发明专利]用于等离子体加工的方法和装置在审
申请号: | 201980052000.7 | 申请日: | 2019-08-12 |
公开(公告)号: | CN112534545A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 彼得·文特泽克;阿洛科·兰詹 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 陈炜;李德山 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在实施例中,一种等离子体加工系统包括真空室、被配置为对要加工的衬底进行固持的衬底固持器,其中,该衬底固持器设置在该真空室中。该系统进一步包括设置在该衬底固持器的外围区域上方的电子源,该电子源被配置为朝向该衬底固持器的外围区域生成电子束。 | ||
搜索关键词: | 用于 等离子体 加工 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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