[发明专利]用于等离子体加工的方法和装置在审
| 申请号： | 201980052000.7 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112534545A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 彼得·文特泽克;阿洛科·兰詹 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈炜;李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在实施例中，一种等离子体加工系统包括真空室、被配置为对要加工的衬底进行固持的衬底固持器，其中，该衬底固持器设置在该真空室中。该系统进一步包括设置在该衬底固持器的外围区域上方的电子源，该电子源被配置为朝向该衬底固持器的外围区域生成电子束。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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