[发明专利]具有改善的离子阻断器的远程电容耦合等离子体源在审
| 申请号： | 201980049624.3 | 申请日： | 2019-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN112534542A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | V·B·沙;V·V·哈桑;B·库玛;G·巴拉苏布拉马尼恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供用于产生一流量的自由基的设备和方法。离子阻断器位于与远程等离子体源的面板相距一距离处。离子阻断器具有开口以允许等离子体流过。相对于位于离子阻断器的相对侧上的喷淋头极化离子阻断器，使得实质上没有等离子体气体离子通过喷淋头。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改善 离子 阻断 远程 电容 耦合 等离子体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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