[发明专利]包括低温保持器和超导线圈层的组件以及设置有这种组件的电机系统在审
| 申请号： | 201980047964.2 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN112470078A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | H·B·库尔米斯;J·P·M·B·弗穆伦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K3/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种组件，包括低温保持器(6，7，8，9)和用于与光刻设备的磁悬浮和/或加速电机系统(1)一起使用的超导线圈(2)的扁平线圈层(3)。低温保持器包括两个绝热覆盖物(8，9)。线圈层布置在两个覆盖物之间。每个覆盖物包括被配置为被低温冷却的内板(10)和平行于内板的外板(11)、以及具有在内板与外板之间的真空层(13)的绝热系统。上述覆盖物的绝热系统包括圆形体(101)的层，这些圆形体的中心轴线垂直于内板和外板延伸，并且上述覆盖物的绝热系统被配置为在两层圆形体之间或在一层圆形体与内板和/或外板之间提供一层点接触。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 低温 保持 超导 线圈 组件 以及 设置 这种 电机 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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