[发明专利]包括低温保持器和超导线圈层的组件以及设置有这种组件的电机系统

权利要求书

1.一种组件，包括低温保持器和超导线圈的线圈层，

其中所述线圈层被配置用于在光刻设备的磁悬浮和/或加速电机系统中使用或与光刻设备的磁悬浮和/或加速电机系统一起使用，所述线圈层是平坦的并且限定两个相对的层表面；

其中所述低温保持器包括两个绝热覆盖物；

其中所述线圈层被布置在所述两个绝热覆盖物之间并且所述两个相对的层表面中的每个层表面被所述绝热覆盖物之一覆盖；

其中每个所述绝热覆盖物包括：

-内板和平行于所述内板的外板，所述内板被布置在所述外板与所述线圈层之间，以及

-绝热系统，被布置在所述内板与所述外板之间；

其中所述绝热系统被配置为具有真空层；

其中所述内板被配置为被低温冷却；以及

其中一个或两个所述绝热覆盖物的所述绝热系统：

-包括：在所述真空层中的一层或多层至少部分圆形体的层，每个至少部分圆形体限定至少部分圆形轮廓和穿过所述圆形轮廓的中心并且垂直于所述圆形轮廓延伸的中心轴线，每层圆形体中的所述圆形体的所述中心轴线垂直于所述内板和所述外板延伸，并且

-被配置为在两层所述圆形体的层之间或在所述圆形体的层与所述内板和/或所述外板之间提供至少一层点接触的层。

2.根据权利要求1所述的组件，

其中至少一层所述圆形体的层是球形体的层，诸如球体或半球体。

3.一种组件，包括低温保持器和超导线圈的线圈层，

其中所述线圈层被配置用于在光刻设备的磁悬浮和/或加速电机系统中使用或与光刻设备的磁悬浮和/或加速电机系统一起使用，所述线圈层是平坦的并且限定两个相对的层表面；

其中所述低温保持器包括两个绝热覆盖物；

其中所述线圈层被布置在所述两个绝热覆盖物之间并且所述两个相对的层表面中的每个层表面被所述绝热覆盖物之一覆盖；

其中每个所述绝热覆盖物包括：

-内板和平行于所述内板的外板，所述内板被布置在所述外板与所述线圈层之间，以及

-绝热系统，被布置在所述内板与所述外板之间；

其中所述绝热系统被配置为具有真空层；

其中所述内板被配置为被低温冷却；以及

其中一个或两个所述绝热覆盖物的所述绝热系统包括：在所述真空层中的一层或多层球形体的层，诸如球体或半球体，至少一层所述球形体的层在所述球体的层与所述内板和/或所述外板之间提供点接触的层。

4.根据权利要求2或3所述的组件，

其中至少一层所述球形体的层包括球体和间隔板，所述间隔板设置有用于容纳所述球体的圆形通孔的图案，每个通孔的直径被配置为接触所述球体使得所述间隔板被所述球体支撑，其中所述间隔板平行于所述内板和所述外板布置。

5.根据权利要求4所述的组件，

其中所述通孔的所述直径在所述球体的直径的70-100％、诸如90-100％的范围内。

6.根据权利要求4至5中的一项所述的组件，

其中所述间隔板被配置为以在所述内板的温度与所述外板的温度之间的温度被冷却。

7.根据权利要求4至6中的一项所述的组件，

其中所述间隔板的热膨胀系数大于所述球体的热膨胀系数，使得当所述间隔板和所述球体被冷却时，所述间隔板与所述球体之间的收缩连接在所述通孔中被获得。

8.根据权利要求4至7中的一项所述的组件，

其中所述间隔板包括铝或铝合金。

9.根据权利要求2至8中的一项所述的组件，包括多层所述球形体的层，

其中在所述球形体的层的相邻层之间布置分离板，所述分离板在每一侧上在所述分离板与所述球形体之间提供另一层点接触的层。

10.根据权利要求9所述的组件，

其中所述分离板被配置为以在所述内板的温度与所述外板的温度之间的温度被冷却。