[发明专利]用于涂覆至少一个金属构件的方法有效
| 申请号： | 201980046678.4 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN112424466B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | M·京特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | F02M51/00 | 分类号： | F02M51/00;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/50;C23C16/26;C23C16/511;H01J37/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种方法，适用于涂覆至少一个金属构件、尤其是喷射嘴的至少一个喷嘴体，其中，所述方法(100)在具有HiPIMS组件和通过ECR等离子体源运行的等离子体浸没植入组件的过程腔中运行，所述方法具有下列方法步骤：a)将所述至少一个构件作为三维衬底引入(110)到所述真空腔中，b)根据当前要构造的层类型选择(120)所述组件中的一个组件，c)激活(130)所选择的组件，以便构造具有预先确定的层厚度的层，并且d)必要时重复方法步骤b)至c)，直至在所述构件上分别构造不同层类型的层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 至少 一个 金属构件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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