[发明专利]药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体在审
| 申请号： | 201980046230.2 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN112384858A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 大松祯;上村哲也;清水哲也;高桥智美;大津晓彦 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/50;G03F7/32;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题为提供一种即使在长期保存之后，缺陷抑制性能也优异的药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体。本发明的药液为含有有机溶剂、酸成分及金属成分的药液，其中，酸成分的含量相对于药液的总质量为1质量ppt以上且15质量ppm以下，金属成分的含量相对于药液的总质量为0.001～100质量ppt。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 试剂盒 图案 形成 方法 制造 收容 | ||
【主权项】：
暂无信息
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