[发明专利]药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体

权利要求书

1.一种药液，其含有有机溶剂、酸成分及金属成分，

相对于所述药液的总质量，所述酸成分的含量为1质量ppt以上且15质量ppm以下，

相对于所述药液的总质量，所述金属成分的含量为0.001质量ppt～100质量ppt。

2.根据权利要求1所述的药液，其中，

所述酸成分的含量相对于所述金属成分的含量的质量比例为10^-2～10⁶。

3.根据权利要求1或2所述的药液，其中，

所述酸成分包含有机酸，

相对于所述药液的总质量，所述有机酸的含量为1质量ppm以下。

4.根据权利要求3所述的药液，其中，

所述有机酸中，相对于所述有机酸的总质量，所述有机溶剂的沸点以上的有机酸的含量为20质量％以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的药液，其中，

所述酸成分包含无机酸，

相对于所述药液的总质量，所述无机酸的含量为1质量ppb以下。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的药液，其中，

所述金属成分包含含有金属原子的含金属粒子，

相对于所述药液的总质量，所述含金属粒子的含量为0.00001质量ppt～10质量ppt。

7.根据权利要求6所述的药液，其中，

所述含金属粒子中，粒径为0.5nm～17nm的金属纳米粒子的、所述药液的每单位体积的含有粒子数为1.0×10^-2个/cm³～1.0×10⁶个/cm³。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的药液，其中，

所述金属成分包含金属离子，

相对于所述药液的总质量，所述金属离子的含量为0.01质量ppt～100质量ppt。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的药液，其中，

所述金属成分包含含金属粒子及金属离子，

所述含金属粒子的含量相对于所述金属离子的含量的质量比例为0.00001～1。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的药液，其还含有水，

相对于所述药液的总质量，所述水的含量为1质量ppm以下。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的药液，其还含有选自由具有酰胺结构的化合物、具有磺酰胺结构的化合物、具有膦酰胺结构的化合物、具有酰亚胺结构的化合物、具有脲结构的化合物、具有氨基甲酸酯结构的化合物及有机酸酯组成的组中的至少一种有机化合物，

相对于所述药液的总质量，所述有机化合物的含量为1质量ppm以下。

12.根据权利要求11所述的药液，其中，

所述有机化合物是沸点为300℃以上的有机化合物。

13.根据权利要求11或12所述的药液，其中，

所述有机酸酯包含选自由邻苯二甲酸酯及柠檬酸酯组成的组中的至少一种。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的药液，其中，

所述有机溶剂中，相对于所述有机溶剂的总质量，沸点为250℃以下的有机溶剂的含量为90质量％以上。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的药液，其中，

所述有机溶剂的SP值为21以下。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的药液，其中，

所述有机溶剂具有酯结构。