[发明专利]磁微聚焦电子发射源在审
申请号: | 201980044996.7 | 申请日: | 2019-07-01 |
公开(公告)号: | CN112400213A | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | C·西尔斯 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/147 | 分类号: | H01J37/147;H01J37/285;H01J1/304 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 刘丽楠 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明揭示一种磁微聚焦电子发射源设备。所述设备可包括磁发射器单元,其中所述磁发射器单元包含发射器。此外,所述磁发射器单元可包括由一或多个磁性材料形成的一或多个磁性部分,其中所述磁发射器单元的所述一或多个磁性部分经配置以产生接近所述磁发射器单元的所述发射器的尖端的磁场以增强从所述电子发射器发射的电子的聚焦。 | ||
搜索关键词: | 聚焦 电子 发射 | ||
【主权项】:
暂无信息
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