[发明专利]具有校正特征的光均质化元件在审
| 申请号： | 201980043771.X | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112352203A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | J·M·科布;P·F·米开罗斯基;D·M·斯塔洛夫 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了光均质化元件。光均质化元件包括具有校正特征的透镜阵列，该校正特征被设计成改善由光源产生的光场的均匀度。校正特征包括放置在透镜阵列中的所选小透镜的所选位置处的掩模。校正特征阻挡或减少穿过该所选位置处的透镜阵列的光的透射，以校正由光源产生的光场中的空间或角度不均匀性。包括耦合至光源的经校正透镜阵列的照明系统产生高度均匀的光场。应用包括微光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 校正 特征 光均质化 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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