[发明专利]喷嘴头和设备有效
| 申请号： | 201980039828.9 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN112313363B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | P·索恩宁;M·索德隆德 | 申请（专利权）人： | 青岛四方思锐智能技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京市竞天公诚律师事务所 11770 | 代理人： | 徐民 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市中国(山东)自由贸易试验区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明涉及喷嘴头(2)和用于使基材(100)的表面(101)经受至少两种前驱体(A、B)的交替的表面反应的设备。喷嘴头(2)包括输出面(3)、至少一个气体供应喷嘴(4)和至少一个排出喷嘴(6)。喷嘴头(2)在输出面(3)上按以下顺序包括有：第一区域端部喷嘴(8)、气体供应喷嘴(4)和第二区域端部喷嘴(6、7、9)，以上喷嘴配置重复一次或多次。第一区域端部喷嘴(8)布置成与气体供应喷嘴(4)相距第一距离(L |
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| 搜索关键词： | 喷嘴 设备 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
