[发明专利]使用指纹和演化分析的方法有效
| 申请号： | 201980038187.5 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN112272796B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | J·范德翁根;W·T·特尔;S·罗伊;张祎晨;A·卡瓦利;B·L·斯捷尼泽尔;西蒙·飞利浦·斯宾塞·哈斯廷斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种针对由装置处理的衬底来确定采样控制方案和/或处理控制的方法。所述方法使用指纹模型和演化模型来产生所述控制方案。所述指纹模型基于针对由装置处理的至少一个衬底的处理参数的指纹数据，并且所述演化模型表示所述指纹数据随时间的变化。分析所述指纹模型和所述演化模型，并且使用所述分析来产生针对所述装置的控制方案。所述采样控制方案提供待在何处和何时对由所述装置处理的衬底进行测量的指示。所述处理控制方案提供如何控制所述衬底的所述处理的指示。本发明也提供一种确定多个装置中的哪个装置对处理参数的指纹做出贡献的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 指纹 演化 分析 方法 | ||
【主权项】：
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