[发明专利]气相沉积蒸发器装置在审
| 申请号： | 201980037777.6 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN112236542A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | M.伦达尔 | 申请（专利权）人： | 戴森技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张邦帅 |
| 地址： | 英国威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种蒸发器装置，包括坩埚，其具有入口，固体材料经由入口被引入所述坩埚，以及出口，汽化材料经由出口从所述坩埚中释放。从坩埚内的熔融材料中脱出的蒸汽被引导离开出口。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 蒸发器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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