[发明专利]气相沉积蒸发器装置

权利要求书

1.一种气相沉积蒸发器装置，包括：

坩埚，其具有入口，固体材料经由入口被引入所述坩埚，以及出口，汽化材料经由出口从所述坩埚释放；

一个或多个加热器；

基部；和

引导表面；

其中，所述引导表面将从所述坩埚内的熔融材料脱出的蒸汽引导离开所述出口。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述坩埚包括熔化区、蒸发器区和加热区，熔融材料经由加热区从熔化区流到蒸发器区，所述入口位于熔化区，而所述出口位于蒸发器区。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述坩埚包括在基部上方延伸的盖。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述盖至少部分地限定引导表面。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述引导表面朝向入口引导脱出的蒸汽。

6.根据权利要求4或5所述的装置，其中，所述引导表面被构造为朝向所述蒸发器装置的一个或多个排气孔引导脱出的蒸汽。

7.根据权利要求2至6中的任一项所述的装置，其中，所述引导表面在所述坩埚的加热区上方延伸，并且被成形为将脱出的蒸汽引导离开所述蒸发器区。

8.根据权利要求2至7中的任一项所述的装置，其中，所述加热区在所述熔化区和所述蒸发器区之间延伸。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述装置的基部对于所述加热区、所述熔化区和所述蒸发器区是公共的。

10.根据权利要求3至9中的任一项所述的装置，其中，所述盖从蒸发器区朝向熔化区向上倾斜。

11.根据权利要求2至10中的任一项所述的装置，其中，所述基部从所述熔化区朝向所述蒸发区向上倾斜。

12.根据权利要求2至9中的任一项所述的装置，其中，所述装置的所述基部和所述引导表面从所述蒸发器区分叉开。

13.根据前述权利要求中的任一项所述的装置，其中，所述一个或多个加热器包括用于加热所述熔化区的第一加热器和用于加热所述蒸发器区的第二加热器。

14.一种熔化和蒸发固体材料的方法，所述方法包括以下步骤：

将坩埚的熔化区加热到第一温度；

将坩埚的蒸发器区加热到第二温度，所述第二温度大于所述第一温度；

将熔点低于所述第一温度且沸点低于所述第二温度的固体材料引入加热的熔化区；

使熔融材料从熔化区经由加热区流到蒸发器区；

将汽化材料从蒸发器区释放；和

引导从加热区内的熔融材料脱出的蒸汽离开蒸发器区。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，固体材料被分批引入坩埚中，并且以连续流的方式从坩埚释放出汽化材料。