[发明专利]等离子体处理工具上基于图像的等离子体鞘轮廓检测在审
| 申请号： | 201980036340.0 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN112204695A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王雨后;迈克尔·约翰·马丁;乔恩·麦克切斯尼;亚历山大·米勒·帕特森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种系统包含图像处理模块，其被配置成：接收由成像装置所捕捉的图像，所述图像是在衬底的处理期间在衬底处理室内的等离子体环境的图像；以及提取所述图像的一或多个特征，其指示在所述衬底的处理期间在所述等离子体环境中形成的等离子体鞘。控制模块被配置成：基于从所述图像所提取的所述一或多个特征来确定所述等离子体鞘轮廓；以及基于所述等离子体鞘轮廓选择性调整与所述衬底的处理相关的至少一个处理参数。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 工具 基于 图像 轮廓 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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