[发明专利]亲水性和Z电位可调谐的化学机械抛光垫在审
| 申请号： | 201980030585.2 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN112088069A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | S·嘎纳帕西亚潘;傅博诣;A·乔卡林甘;A·沃兰;D·莱德菲尔德;R·巴贾杰;N·B·帕蒂班德拉;H·T·黄;S·马杜苏达南 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24;B29C64/112;B33Y10/00;B33Y70/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一个实施方式中，提供了一种形成多孔抛光垫的方法。所述方法包含用3D打印机沉积多个复合层以达到目标厚度。沉积多个复合层包含将可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上。沉积多个复合层进一步包含将孔隙度形成组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上，其中孔隙度形成组成物的至少一种成分是可移除的，以在多孔抛光垫中形成孔。 | ||
| 搜索关键词： | 亲水性 电位 调谐 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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