[发明专利]亲水性和Z电位可调谐的化学机械抛光垫

权利要求书

1.一种形成抛光垫的方法，包含：

用3D打印机沉积多个复合层以达到目标厚度，其中沉积所述多个复合层包含：

将可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上，其中所述可固化树脂前驱物组成物包含：

其中R是H或CH₃，R₁、R₂和R₃可为相同或不同的，并且可各自彼此独立地为直链或支链C₁至C₈烷基。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包含：

将孔隙度形成组成物的一个或多个液滴分配到所述支撑件上，其中所述孔隙度形成组成物的至少一种成分是可移除的，以在所述抛光垫中形成所述孔。

3.如权利要求2所述的方法，其中X^-选自OH^-、CH₃COO^-、CF₃COO^-、CH₃SO₃^-或CF₃SO₃^-。

4.如权利要求1所述的方法，其中R是H或CH₃，R₁、R₂和R₃各自独立地选自C₁至C₂烷基。

5.如权利要求1所述的方法，其中R是H或CH₃，R₁和R₂是CH₃，并且R₃是CH₂CH₃。

6.如权利要求1所述的方法，其中R是H或CH₃，并且R₁、R₂和R₃是CH₃。

7.如权利要求6所述的方法，其中X^-是CH₃SO₃^-。

8.如权利要求2所述的方法，其中所述孔隙度形成组成物包含选自以下项的孔隙度形成剂：醇、醇-醚、胺和它们的组合。

9.如权利要求2所述的方法，其中所述孔隙度形成组成物包含选自以下项的孔隙度形成剂：乙二醇、丁二醇、二聚二醇、丙二醇-(1,2)、丙二醇-(1,3)、1,8-辛二醇、新戊二醇、环己烷二甲醇(1,4-双-羟基甲基环己烷)、2-甲基-1,3-丙二醇、甘油、三羟甲基丙烷、己二醇-(1,6)、己三醇-(1,2,6)、丁三醇-(1,2,4)、三羟甲基乙烷、四级戊四醇、对环己二醇、甘露糖醇、山梨糖醇、甲基糖苷、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、聚乙二醇、二丁二醇、聚丁二醇、乙二醇、乙二醇单丁醚(EGMBE)、二乙二醇单丁醚、乙醇胺、二乙醇胺(DEA)、三乙醇胺(TEA)和它们的组合。

10.如权利要求2所述的方法，进一步包含：在将所述经分配的所述可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴以及所述经分配的所述孔隙度形成组成物的一个或多个液滴暴露于退火处理、冲洗工艺或两者中的至少一者之前，部分固化所述经分配的所述可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴以及所述经分配的所述孔隙度形成组成物的一个或多个液滴。