[发明专利]BAW谐振器、RF滤波器、多路复用器、以及制造BAW谐振器的方法在审
申请号: | 201980022610.2 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN111937303A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | W·艾格纳;M·希克;F·弗雷斯;C·许克 | 申请(专利权)人: | RF360欧洲有限责任公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/56;H03H3/02;H03H9/13;H03H9/58;C23C14/06;H03H3/04;H03H9/17 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 傅远 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种具有改善的横向能量约束的BAW谐振器。该谐振器具有底部电极层中的底部电极、顶部电极层中的顶部电极、以及底部电极层与顶部电极层之间的压电层。压电层包括具有压电极性不同的压电材料。 | ||
搜索关键词: | baw 谐振器 rf 滤波器 多路复用 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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