[发明专利]化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制造光致抗蚀剂图案的方法在审
| 申请号： | 201980019703.X | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN111868038A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 安俊炫;林敏映 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | C07D237/24 | 分类号： | C07D237/24;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/004;G03F7/032 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵丹;尚光远 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容涉及化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 包含 光致抗蚀剂 组合 图案 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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