[发明专利]密封设备在审
| 申请号： | 201980019550.9 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111989512A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 河合俊宏;小仓源五郎 | 申请（专利权）人： | 昕芙旎雅有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/10 | 分类号： | F16J15/10;H01L21/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明即使在框架构件和盖构件没有高刚度的情况下也能够密封壳体。EFEM被构造为使壳体的内部空间(40)和外部空间(7)之间的压力差不超过规定值。壳体包括：被组装为在其中形成开口的框架构件；被附接至框架构件以覆盖开口的盖构件；以及被夹在框架构件和盖构件之间并延伸为围绕开口的密封构件(61)。框架构件和盖构件由金属薄板制成。密封构件(61)是其中在正交于密封构件(61)的延伸方向上的截面形成为中空形状的弹性构件。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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