[发明专利]电路管芯和互连件之间的自动对准在审
| 申请号: | 201980017362.2 | 申请日: | 2019-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN111819686A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
| 发明(设计)人: | 安基特·马哈詹;米哈伊尔·L·佩库罗夫斯基;撒格尔·A·沙;托马斯·J·梅茨勒;卡拉·A·迈耶斯;詹姆斯·朱;特雷莎·M·格代尔;柳德米拉·A·佩库罗夫斯基;乔纳森·W·肯灵;杰里米·K·拉森 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L23/00;H01L23/29;H01L25/065;H01L23/31 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 梁晓广;李金刚 |
| 地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明公开了用于固体电路管芯和导电互连件之间的自动对准的方法以及通过该方法制造的制品或装置。固体电路管芯设置在基底的对准区域处。流体通道延伸到对准区域中并且具有位于固体电路管芯的底表面下方的一部分。导电迹线通过使通道中的导电液体朝向电路管芯的底表面上的接触垫流动而形成,以获得自动对准。 | ||
| 搜索关键词: | 电路 管芯 互连 之间 自动 对准 | ||
【主权项】:
暂无信息
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