[发明专利]干涉仪中的光束引导有效
| 申请号： | 201980014749.2 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111742190B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | T·吉斯勒 | 申请（专利权）人： | 瑞士万通集团公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇;王博 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化，尤其是相对光程长度变化的参考干涉仪(1)，其包括分束器(3)和激光光源(4)，该分束器(3)被实施为使得激光光源(4)的光束(5)通过在分束器(3)的第一侧面、特别是上侧(61)和第二侧面、特别是下侧(62)上的全内反射来引导，其特征在于，在光路中在分束器(3)的上游设置棱镜(16')，从而能够通过所述棱镜偏转进入分束器(1)的光束(5)，和/或其特征在于，在光路中在分束器(3)的下游设置棱镜(16”)，从而能够通过所述棱镜偏转离开分束器(3)的光束(5')。此外，本发明涉及基于根据本发明的参考干涉仪的干涉仪、光谱仪和用于确定光程长度变化的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 中的 光束 引导 | ||
【主权项】：
暂无信息
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