[发明专利]干涉仪中的光束引导

权利要求书

1.一种用于确定干涉仪臂(2)中的光程长度变化的参考干涉仪(1)，其包括分束器(3)和激光光源(4)，所述分束器(3)被实施为使得所述激光光源(4)的光束(5)通过在所述分束器(3)的第一侧面和第二侧面上的全内反射来引导，

其特征在于，在光路中在所述分束器(3)的上游设置至少一个棱镜(16')，其中，上游的所述棱镜(16')被实施为使得基本上沿着中心z轴或平行于所述中心z轴通向所述分束器的光束能够被折射并倾斜地引导至所述分束器的第一侧面；和/或

其特征在于，在所述光路中在所述分束器(3)的下游设置至少一个棱镜(16”)，其中，下游的所述棱镜(16”)被实施为使得相对于中心x轴倾斜地离开所述分束器的光束能够被折射并基本上沿着所述中心x轴或平行于所述中心x轴的路线被引导。

2.根据权利要求1所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述光程长度变化是相对光程长度变化。

3.根据权利要求1所述的参考干涉仪(1)，其中，所述至少一个棱镜(16')是能够将所述光束转向所述分束器的第一侧面的直角三棱镜。

4.根据权利要求1所述的参考干涉仪(1)，其中，所述至少一个棱镜(16”)是能够折射从所述分束器的第二侧面入射的光束的直角三棱镜。

5.根据权利要求1所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)的至少所述第一侧面和/或所述第二侧面设置有涂层。

6.根据权利要求5所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)的至少所述第一侧面和/或所述第二侧面在其一部分上设置有涂层。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)的第一侧面是所述分束器(3)的上侧(61)，并且所述分束器(3)的第二侧面是所述分束器(3)的下侧(62)。

8.根据权利要求3至4中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述参考干涉仪(1)是迈克尔逊型参考干涉仪。

9.根据权利要求5至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述涂层的折射率和厚度被选择为使得在所述激光光源(4)的光束(5)已经通过全内反射而反射的情况下经受全内反射的s-偏振光束和p-偏振光束之间能够获得π/2±π/10的相移。

10.根据权利要求5至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述涂层的折射率和厚度被选择为使得在所述激光光源(4)的光束(5)已经通过全内反射而反射的情况下经受全内反射的s-偏振光束和p-偏振光束之间能够获得π/2±π/20的相移。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)被实施为平行六面体。

12.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)被实施为直角矩形棱镜。

13.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述分束器(3)被实施为长方体。

14.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，提供至少一个检测器(7)。

15.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，提供用于检测已经被偏振分束器(13)分离的两个部分光束的两个光电检测器(7'，7”)。

16.根据权利要求1至6中任一项所述的参考干涉仪(1)，其特征在于，所述激光光源(4)是二极管激光器。