[发明专利]氧化物膜、氧化物膜的制造方法及含氮氧化物溅射靶在审
| 申请号： | 201980007041.4 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111542643A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 梅本启太;山口刚;白井孝典 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C01B33/26;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 辛雪花;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种氧化物膜、氧化物膜的制造方法及含氮氧化物溅射靶，所述氧化物膜的特征在于，将作为金属成分包含Al、Si及Zn的氧化物作为主相，并在0.5原子％以上且20原子％以下的范围内含有氮，所述氮以氮化物形式存在。优选氧化物膜的压痕硬度在700kgf/mm |
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| 搜索关键词： | 氧化物 制造 方法 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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