[发明专利]光学准直器及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201980002372.9 申请日: 2019-04-02
公开(公告)号: CN110770639B 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 姚国峰;沈健 申请(专利权)人: 深圳市汇顶科技股份有限公司
主分类号: G02B27/30 分类号: G02B27/30;G06K9/00
代理公司: 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 代理人: 韩狄;毛威
地址: 518045 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请实施例涉及光学准直器及其制作方法。该光学准直器包括2N‑1个子准直器,N1的正整数,其中,第一金属层上设置有准直孔,形成第一个子准直器;位于该第一金属层上方的第二金属层上设置有准直孔,形成第三个子准直器;第i‑1金属层与第i金属层之间为第i‑1通孔层,该第i‑1通孔层中设置有第i‑1通孔,填充金属的该第i‑1通孔用于连接该第i‑1金属层与该第i金属层,该第i‑1通孔层为第2i‑2个子准直器,i依次取2,3,……N;位于该第i‑1金属层上方的该第i金属层上设置有准直孔,形成该2N‑1个子准直器中的第2i‑1个子准直器。本申请实施例的光学准直器及其制作方法,能够提高其对光的空间过滤能力。
搜索关键词: 光学 准直器 及其 制作方法
【主权项】:
1.一种光学准直器,其特征在于,所述光学准直器包括2N-1个子准直器,N为大于1的正整数,/n其中,第一金属层上设置有准直孔,形成所述2N-1个子准直器中的第一个子准直器;/n第二金属层上设置有准直孔,形成所述2N-1个子准直器中的第三个子准直器,所述第二金属层位于所述第一金属层上方;/n第i-1金属层与第i金属层之间为第i-1通孔层,所述第i-1通孔层中设置有第i-1通孔,填充金属的所述第i-1通孔用于连接所述第i-1金属层与所述第i金属层,所述第i-1通孔层为所述2N-1个子准直器中的第2i-2个子准直器,i依次取2,3,……N;/n所述第i金属层上设置有准直孔,形成所述2N-1个子准直器中的第2i-1个子准直器,所述第i金属层位于所述第i-1金属层上方。/n
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