[发明专利]光学准直器及其制作方法

权利要求书

1.一种光学准直器，其特征在于，所述光学准直器包括2N-1个子准直器，N为大于1的正整数，

其中，第一金属层上设置有准直孔，形成所述2N-1个子准直器中的第一个子准直器；

第二金属层上设置有准直孔，形成所述2N-1个子准直器中的第三个子准直器，所述第二金属层位于所述第一金属层上方；

第i-1金属层与第i金属层之间为第i-1通孔层，所述第i-1通孔层中设置有第i-1通孔，填充金属的所述第i-1通孔用于连接所述第i-1金属层与所述第i金属层，所述第i-1通孔层为所述2N-1个子准直器中的第2i-2个子准直器，i依次取2,3,……N，所述第i-1通孔为环形通孔，所述环形通孔包围的内部区域形成所述第2i-2个子准直器的准直孔，所述第i-1通孔层中通孔内填充的金属的材料为钨和/或铜；

所述第i金属层上设置有准直孔，形成所述2N-1个子准直器中的第2i-1个子准直器，所述第i金属层位于所述第i-1金属层上方；

所述2N-1个子准直器的准直孔的形状相同且孔径相等，所述2N-1个子准直器的准直孔的中轴线重合。

2.根据权利要求1所述的光学准直器，其特征在于，所述第一金属层以及所述第i金属层的材料为以下材料中的至少一种：铝、铜和氮化钛。

3.根据权利要求1或2所述的光学准直器，其特征在于，所述光学准直器的准直孔内的填充材料为二氧化硅和/或氮化硅。

4.一种光学准直器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在第一金属层上设置准直孔，以形成第一个子准直器；

在第二金属层上设置准直孔，以形成第三个子准直器，所述第二金属层位于所述第一金属层上方；

在第i-1金属层与第i金属层之间的第i-1通孔层中设置第i-1通孔，并在所述第i-1通孔内填充金属，以连接所述第i-1金属层与所述第i金属层，所述第i-1通孔层为第2i-2个子准直器，i依次取2,3,……N，N为大于1的正整数，所述第i-1通孔为环形通孔，所述环形通孔包围的内部区域形成所述第2i-2个子准直器的准直孔，所述第i-1通孔层中通孔内填充的金属的材料为钨和/或铜；

在所述第i金属层上设置准直孔，以形成第2i-1个子准直器，所述第i金属层位于所述第i-1金属层上方；

所述第一个子准直器至第2N-1个子准直器的准直孔的形状相同且孔径相等，且2N-1个子准直器的准直孔的中轴线重合。

5.一种光学指纹识别模组，其特征在于，包括：如权利要求1至3中任一项所述的光学准直器以及图像传感器，

所述图像传感器设置在所述光学准直器的下方，

所述光学准直器用于：过滤经过手指反射的返回光并汇聚至所述图像传感器；

所述图像传感器用于：接收经过所述光学准直器的所述返回光并根据接收到的所述返回光生成指纹数据，所述指纹数据用于对所述手指进行指纹识别。

6.根据权利要求5所述的光学指纹识别模组，其特征在于，所述光学指纹识别模组还包括：

光源，用于产生光，所述光用于照亮所述手指并反射产生所述返回光。

7.一种终端设备，其特征在于，包括：

显示屏，用于为手指提供触摸界面；

如权利要求5或6所述的光学指纹识别模组，位于所述显示屏下方，用于对所述手指进行指纹识别。

8.根据权利要求7所述的终端设备，其特征在于，所述显示屏包括：

发光显示像素，用于显示图像以及发光，所述光用于照亮所述手指并反射产生所述返回光。