[实用新型]一种晶种安装装置有效

专利信息
申请号: 201922486367.X 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN211713257U 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 王立刚;张强;贾海洋;王淼;王连文;朱玉;李仕权 申请(专利权)人: 内蒙古中环领先半导体材料有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 实用新型公开了一种晶种安装装置,包括钼重锤,所述钼重锤的底端中部开设有凹槽,一籽晶上端伸入凹槽内,所述凹槽的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块,所述套接块的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口,所述凹口的内部等间距设有四个与其平行的限位杆,且每个限位杆均通过连接块连接有石墨挤压块,所述凹口的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆,且固定杆的底端垂直连接有安装板,所述凹口、四个石墨挤压块与安装板的圆心均位于凹槽的圆心上。如此设置,不仅实现了对圆柱籽晶插接端的挤压固定,也实现了圆柱籽晶圆心与凹槽圆心是否对其的调节,从而避免了圆柱籽晶摆放位置不正,对其上晶体生长的质量造成影响的问题。
搜索关键词: 一种 安装 装置
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