[实用新型]一种晶种安装装置有效
| 申请号: | 201922486367.X | 申请日: | 2019-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN211713257U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
| 发明(设计)人: | 王立刚;张强;贾海洋;王淼;王连文;朱玉;李仕权 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
| 地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 安装 装置 | ||
本实用新型公开了一种晶种安装装置,包括钼重锤,所述钼重锤的底端中部开设有凹槽,一籽晶上端伸入凹槽内,所述凹槽的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块,所述套接块的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口,所述凹口的内部等间距设有四个与其平行的限位杆,且每个限位杆均通过连接块连接有石墨挤压块,所述凹口的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆,且固定杆的底端垂直连接有安装板,所述凹口、四个石墨挤压块与安装板的圆心均位于凹槽的圆心上。如此设置,不仅实现了对圆柱籽晶插接端的挤压固定,也实现了圆柱籽晶圆心与凹槽圆心是否对其的调节,从而避免了圆柱籽晶摆放位置不正,对其上晶体生长的质量造成影响的问题。
技术领域
本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体的涉及一种晶种安装装置。
背景技术
籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的种子,也叫晶种;拉单晶时,都需要用到晶种。
在授权公开号为CN 208379047U专利中,通过石墨套的设置,对籽晶与钼制夹头之间进行分隔,以此降低籽晶接头端与夹头之间产生粘黏,而对籽晶内部结构造成的影响,但是由于其在对籽晶连接端进行固定的同时,不能对籽晶的中心位置与夹持结构的中心位置之间进行对齐的调节,从而导致籽晶位置摆放不正,对其上晶体生长的质量造成影响,故而,迫切的需要研制一种晶种安装装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶种安装装置,以解决上述背景技术中提出的现有的夹持结构在对籽晶连接端进行固定的同时,不能对籽晶的中心位置与夹持结构的中心位置之间进行对齐的调节,从而导致籽晶位置摆放不正,对其上晶体生长的质量造成影响问题。
为解决上述问题,本实用新型采取如下技术方案:
一种晶种安装装置,包括钼重锤,所述钼重锤的底端中部开设有凹槽,一籽晶的上端伸入所述凹槽内,所述凹槽的内部螺纹连接有呈圆筒状结构的套接块,所述套接块的内部设有呈圆台状结构且上端口直径小于下端口直径的凹口,所述凹口的内部等间距设有四个与其平行的限位杆,且每个限位杆均通过连接块连接有石墨挤压块,每个所述连接块上均开设有供相应侧限位杆穿过的通孔,所述凹口的圆心处设有竖直向上延伸的固定杆,且固定杆的底端垂直连接有安装板,所述凹口、四个石墨挤压块与安装板的圆心均位于凹槽的圆心上。
所述安装板的底端表面设有四个水平设置的伸缩结构,所述安装板的四周分别通过相应侧的伸缩结构与相应的石墨挤压块连接,所述钼重锤的圆心处设有与凹槽连通且用于盛放固定杆延伸端的盲孔,且钼重锤上设有垂直贯穿其两侧壁的固定销,所述固定杆上设有供固定销垂直穿过的通孔。
所述伸缩结构包括水平固定设于安装板底端面的套筒、水平固定于套筒内部的弹簧以及固定于弹簧另一端且与套筒滑动连接的滑杆,每个所述滑杆的自由端均与相应侧石墨挤压块的顶端内侧壁固定连接,四个所述套筒的底端共同连接有与安装板平行的石墨板,每个所述伸缩结构与相应侧石墨挤压块一一对应且对齐。
所述固定销的两端螺纹连接有与钼重锤外侧壁紧密贴合的螺母,所述通孔至少设置有两个。
所述套接块顶端的敞口直径小于其底端的敞口直径,所述套接块的底端设有直径大于凹槽直径的环形托台,且环形托台的顶端表面与钼重锤的底端表面接触。
每个所述石墨挤压块包括一体成型的上连块和下连块,所述上连块的内端面与固定杆平行,所述下连块的内端面与凹口倾斜面平行。
本实用新型的有益效果为:
1.本实用新型通过每个石墨挤压块与安装板同圆心的设置,使上下升降的安装板实现对四个石墨挤压块的同步控制,从而使石墨挤压块在相互靠拢时,不仅实现了对圆柱籽晶插接端的挤压固定,也实现了圆柱籽晶圆心与凹槽圆心是否对其的调节,从而避免了圆柱籽晶摆放位置不正,对其上晶体生长的质量造成影响的问题;
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